摘 要：筆者參照液晶顯示器面板制造潔凈廠房的實際特征，針對高空間、大面積以及FFU數量巨大的電子工業潔凈室工程性能參數的實際檢測方式進行了相應的分析和探究，通過數據檢測的方式來完成實驗任務，經過論證、實驗和對比分析之后，對潔凈廠房的檢測方式進行了分析，同時可以提高工作效率，保證檢測質量，縮短檢測時間，促使最終的檢測結果更具精準度。 

　自從進入到二十一世紀以來，我國的科學技術發展水平就在不斷提提高，隨之而來電子工業的發展腳步也隨之加快，集成電路芯片制造以及液晶顯示面板制造生產廠家的運作和發展也趨于成熟，高世代的TFT-LCD生產線中涵蓋著8.5代生產線國內已經有數十條生產線正在處于建設過程中，特別是12英寸的晶圓生產線有多條已經建成，同時投入到生產之中，正式生產工藝的實際特征，導致這類的生產用潔凈廠房的實際需求度是極高的，此時，就需要對廠房的潔凈程度予以全方面的檢測，筆者基于此問題進行了分析和歸納。 

　　1 對于潔凈廠房檢測參數和技術指標的分析 
　　電子工業潔凈廠房環境參數可以直接給產品的良品率帶來極大的影響，確保潔凈室之內動態環境下和靜態環境下的每一項餐參數都應當符合設計的內容需要，通常情況下，電子潔凈廠房對于各類參數的要求都是極為嚴格的，比如，對于排氣量、新風量、工藝排氣、FFU安裝檢漏、溫濕度、照度、靜壓差、防靜電、FFU風速、潔凈度等級、噪聲以及氣流流型等因素的控制需求都是極其嚴格和嚴謹的，不僅如此，還有其中的超純水測試以及超純氣體測試都是必要的，筆者對潔凈室的參數測試方式進行了相應的分析，以某8.5液晶面板生產線的彩膜和成盒廠房為例進行探討，對其實際測試參數和相關技術指標予以闡述[1]。 
　　2 對于FFU面風速測試方式的分析 
　　FFU面風速測試過程中，需要結合相關的技術標準《潔凈廠房施工及質量驗收規范》GB51110及ISO14644-3中的內容要求，在對過濾網予以測試時，需要在過濾網的1.5分米的位置應用多點風速儀或是單點風速儀在網面之上合理的布置測試點，每一點的均值都應當是過濾網面的風速值。在實施檢測工作的過程中，因為液晶顯示面板潔凈廠房的凈高較高，測試工作的落實需要利用移動式升降機亦或是長桿的作用，落實檢測工作，但是它的檢測效率相對較差，同時高空作業也會具有一定程度的安全隱患，不僅如此，受到建設工期的限制和制約，測試工作量的巨大也會導致測試時間相應的增加，如果想要在規定時間之內完成檢測任務，那么就會導致時間過緊，此時的產品投入到工藝運作生產之中，將會致使井字架或是升降機難以正常運行，風速測試工作的落實也會層層受阻[2]。 
　　基于此，實際的測試工作落實之后，需要將其移動到技術夾層之內，應用電子式風量罩來對FFU風機側進風予以檢測，如果將其換位過濾網來完成風速值的測試工作，亦或是將風量罩之上設置相應的尺寸，對過濾網的風速予以讀出，想要使測試更為精準，可以通過對比實驗的方式，來提高測量的精準度和科學性，可在1.2米*1.2米的截面之上取四個點，與此同時，可以在FFU之上的風側之上的技術夾層之中的風機側，借助風量罩來完成測量任務，而后完成數據的讀取，從首次的測量數據讀取過程中，可知風量罩以及多點風速儀的測試都會體現出一定的誤差，這就顯示了FFU風機測量實際的進風量，此測量方式具有一定的可行性?；蚩墒褂昧Ｗ蛹夹g方式來完成FFU泄漏檢測任務[3]。 
　　粒子技術方法的實施，實際的影響因素主要有兩個，其一為測量用塵源，其二為上方塵源濃度。基于塵源這一問題，已經有技術標準來對其予以規范，我國國內大多都使用人工塵源的方式，比如，有PAO、DEHS、DOP以及PSL等，而筆者經過分析之后，認為潔凈廠房對于潔凈度的需求等級為ISO，以及五級混合流潔凈室的FFU檢泄漏檢測，所應用的大氣塵源大多能夠符合塵源檢測的粒徑或是濃度需要，同時人工塵源檢測也具有較大的優勢，體現出小批量生產中對于空氣過濾器泄露檢測的精準度，具有一定的穩定性，另外，檢測時間以及費用等也可以被接受。 
　　如果空氣過濾器的數量較為巨大，那么，將會極其繁雜，不僅費時費力，同時它的實際可操作性能也極差，特別是受到時間成本的影響，如若此時應用大氣塵作為塵源，此時的測量方式將會相對較為便捷，檢測過程中，僅僅需要在區域范圍內引入一定的風量，同時可以在過濾器之上的位置實施取樣測試，最終確定塵源的濃度，而其他的操作都應當在過濾網的下方來完成。 
　　結合相關的技術規范需要，應當對采樣流量的規定內容，以及采樣頭的尺寸以及速率等，保證規格為1200*1200的FFU測試時間超出五分鐘的范圍，確保一個測試人員、測試的機器以及儀器設備等都可以符合測量需要。 
　　3 對于溫濕度的測試方式分析 
　　電子工業潔凈廠房溫濕度精度要求，溫濕度的精度應當控制在±0.5攝氏度的范圍之內，而濕度精度則應當控制在±5%，此時需要參照有關的技術標準，對溫濕度進行合理的設置，對測試點的數量和位置予以確定，將測量點控制在150點左右，實現均勻的分布，這樣將會使測試結果更具針對性，更能對室內的情況予以全方位的展現。 
　　4 結束語 
　　綜上所述，電子工業潔凈廠房對于潔凈度的需求是極高的，此時就需要借助高精準度的檢測方式，確保測量結果的準確程度，提高檢測質量。