摘要：隨著技術水平的推廣，無塵環境被廣泛的運用在各行各業的生產過程中，以保證產品的零污染高質量要求。 　　 　　關鍵詞：潔凈室；FFU（風機過濾組合）；HEPA（高效過濾器） 
　　 
　　潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。 
　　 
　　一、潔凈室管控項目 
　　正如前面潔凈室的定義所講，潔凈室不單要對塵埃粒子的占有量進行要求， 
　　而且對整個環境等的相關因素進行管控，具體項目如下： 
　　1.能除去空氣中飄游之微塵粒子；2.能防止微塵粒子之產生 
　　3.溫度和濕度之控制；4.壓力之調節 
　　5.有害氣體之排除；6.結構物與隔間之氣密性；7.靜電之防制；8.電磁干擾預防；9.安全因素之考慮。 
　　10.節能之考量 
　　 
　　二、潔凈室凈化等級劃分標準 
　　世界各國均有自定行的定義規格，但目前比較普遍通用的還是美國聯邦標準209E和日本采用公制以每立方公尺為單位的ISO標準。 
　　209E標準中潔凈室等級以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數字是以每立方公尺中≥0.5μm之微塵粒子的數目以10的冪次方表示，取其指數表示。若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5等表示。 
　　日本在209E標準的基礎上采用公制單位，即以每立方公尺為計數單位的ISO標準。以0.1μm微粒子為計數標準，表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class9表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 9。 
　　 
　　三、潔凈室分類 
　　按照潔凈室的架構不同而分為紊流式、層流式、復合式三種。 
　　1.紊流式 
　　空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 
　　優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。 
　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。 
　　2.層流式 
　　空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由對立面的地板或隔墻板排風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為100以下。 
　　優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。 
　　缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。 
　　3.復合式 
　　復合式為將紊流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 
　　 
　　四、潔凈室氣流之流動 
　　潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素趨于混亂。 
　　1.氣流速度數值在0.2~0.52m/s之間，屬微風區域，易受人、機器動作的干 
　　擾趨于混亂。雖提高風速可抑制此干擾，但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，以最適當的風速供應，達到經濟性效果。 
　　2.換氣次數（氣流速度的展現） 
　　 凈化等級與換氣次數的對應關系： 
　　 100級 ≥360次/h 
　　 1000級 ≥150次/h 
　　 10000級 ≥25次/h 
　　 100000級 ≥15次/h 
　　 
　　五、潔凈室塵埃測量標準 
　　潔凈室塵埃測量需按照如下要求進行： 
　　1.靜態測量 
　　環境自凈20min后，方可測量 
　　2.測量點選擇 
　　在距離地板最少1.2m處測量（即在所需的工作臺面上測量） 
　　3.風機及Hepa檢驗時（風速、塵埃數量） 
　　在Hepa下方3cm處取其四角、中心五點進行檢驗 
　　 
　　六、潔凈室的保養 
　　潔凈室屬于一套自帶獨立功能的復雜設備，正如其他自動化設備一樣，同樣需要定期、如時的保養維護。只有維護保養到位，其凈化功能才能淋漓盡致的發揮，最終達到使用者對環境質量預期的管控效果。潔凈室的保養主要涉及以下內容： 
　　1.高效過濾器的功效檢查及保養 
　　（1）泄露測量/季。在過濾器下方3cm左右處進行塵埃顆粒量測，含及整個過濾面，逐行量測。 
　　（2）壓損測量/季。壓損即指風機排出的氣流經高效過濾（阻塞）后的損失。 
　　2.初效過濾器的維護保養 
　　初效過濾器是FFU組合中的第一道濾網，也是室外空氣進入潔凈室的第一道關口。過濾等級一般在30~65%左右，就是否可以進行“清洗保養/季”還是“直接更換/季”要依實際的現場狀況來定。 
　　3.風機功能檢查及保養 
　　（1）運轉有無異音能 ；（2）指示燈工作是否正常；（3）風葉的清潔/周。 
　　4.各參數的權重 
　　對于一套FFU，功效的完好與否就取決于以上各參數的數值，但各個參數的 
　　重要性還是有差異的，具體權重可參考如下，由高到低：風速、過濾效率、壓損、泄漏。 
　　結局語： 
　　我們要判斷一個潔凈室的凈化質量不能簡單的從某一個參數來說明，要在確認凈化等級的前提下橫向縱向進行比較論證，反復的進行試驗性驗證，方可得出正確的結論，即各設備是否工作狀態良好，或有的放矢的對問題設備進行處理。